真空泵的主要參數(shù)

（1）抽氣速率（抽速）抽氣速率是指真空泵進口處，在任一給定壓力下，單位時間內(nèi)流入泵的氣體體積。

（4-8）

式中，△V為泵進口處△t時間內(nèi)流入泵的氣體體積（m3）：p，為在測定該氣體體積時的進口壓力（Pa）。

（2）極限壓力極限壓力是指當被抽容器中漏氣和容器放氣可以忽略時，經(jīng)長時間抽氣之后，泵所能達到的最低平衡壓力，即抽氣速率為零時的壓力。

（3）最大前級壓力最大前級壓力是指超過它能使泵損壞的前級壓力。

（4）啟動壓力啟動壓力是指泵無損壞啟動并有抽氣作用時的壓力。

（5）最大工作壓力最大工作壓力是指對應(yīng)最大流量的入口壓力。在此壓力下，

泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。

（6）前級壓力前級壓力是指排氣壓力低于101325Pa的真空泵的出口壓力。

（7）壓縮比壓縮比是指真空泵對給定氣體的出口壓力與它的入口壓力之比值。