在低溫技術中，用于進行制冷循環或液化循環的工質，通稱為低溫工質。它們在封閉式制冷系統中作為制冷工質;在氣體分離及液化裝置中既作為產品氣體，同時，也起制冷工質的作用。 低溫工質液化后，可以作為低溫制冷劑。凡標準沸點低于120K的元素或化合物，以及它們的混合物，原則上均可用作低溫工質。
低溫技術中最常用的工質有空氣、氧、氮、氬、氖、氦、氫和甲烷等。