氦質(zhì)譜檢漏儀采用氦作示漏氣體進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜計(jì)稱為氦質(zhì)譜檢漏儀。它是真空檢漏中靈敏度最高和應(yīng)用最普遍的一種檢漏儀器。

    (1)結(jié)構(gòu)原理  氦質(zhì)譜檢漏儀基本上屬于磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)，主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電子電路三大部分組成。質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏儀的關(guān)鍵部件，它主要由離子源、分析器和接收器組成。

它的工作原理如圖2-42所示。

    由于質(zhì)譜室必須在高真空條件下工作，儀器的真空系統(tǒng)是一高真空抽氣機(jī)組，它主要由機(jī)械真空泵、油擴(kuò)散泵或渦輪分子泵、冷阱(有些儀器沒(méi)有)、真空閥門(mén)以及真空計(jì)等組成。

儀器的電子電路部分主要由質(zhì)譜室工作穩(wěn)定電源、離子流測(cè)量放大器、音響與燈光報(bào)替裝置、真空系統(tǒng)電源以及控制電源等組成。采用微處理機(jī)可使氦質(zhì)譜檢漏儀的整個(gè)檢漏過(guò)程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和操作。

    (2)主要技術(shù)性能

    檢漏靈敏度：一般為10ˉ?~10ˉ12Pa·m3/s

                返流式為10ˉ? ~10ˉ11 Pa·m3/s

    工作壓力：一般為10ˉ2Pa

              返流式為≥10Pa

    高真空系統(tǒng)真空度：風(fēng)冷油擴(kuò)散泵機(jī)組為10ˉ3Pa

                      渦輪分子泵機(jī)組為10ˉ?Pa

    反應(yīng)時(shí)間：<1-3s

    質(zhì)譜室：180°(或90°)磁偏轉(zhuǎn)扇形質(zhì)譜室

    (3)優(yōu)缺點(diǎn)

主要優(yōu)點(diǎn)：

①靈敏度高、反應(yīng)迅速、穩(wěn)定可靠；

②采用微型計(jì)算機(jī)控制實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)操作；

③氦在大氣中十分稀少(約二十萬(wàn)分之一)，又比空氣輕，不會(huì)造成嚴(yán)重影響；

④氦的質(zhì)量小，擴(kuò)散系數(shù)大，反應(yīng)時(shí)間短。又不容易被吸附，容易被抽走。

⑤氦為惰性氣體，使用安全，不會(huì)影響真空衛(wèi)生。

其主要缺點(diǎn)為結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格昂貴。

氦質(zhì)譜探漏儀也可使用真空法檢漏或加壓法檢漏。