濕度傳感器的特性參數主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數、響應時間、濕滯回差、感濕特征量一一相對濕度特性曲線等。一個濕度敏感器件,不僅在吸濕和脫濕兩種情況下的響應時間有所不同,而且其感濕特性曲線也不重復。在吸濕和脫濕情況下,兩個感濕特性曲線一般均可形成一回線。濕度敏感器件的這一特性稱為濕滯特性,而將此回線稱為濕滯回線.圖3- 5中給出了Mn₃O₄ -TiO₂濕度敏感器件在80℃時的濕滯回線。

表示器件濕滯特性的特性參數是濕滯回差。濕滯回差表示器件在吸濕和脫濕兩種情況下,其感濕特征量的同一數值所指示的環境相對濕度的最大差值。顯然,器件的濕滯回差越小越好。

上面介紹了表示濕度敏感器件性能的幾種特性參數。除此之外,對于二個濕度敏感器件,還應標明其使用條件、可靠性指標,以及其他參數(如加熱清洗參數)等。

綜上所述 ,可以得知一個理想化的濕度敏感器件所應具備的性能和參數：①使用壽命長 ,長期穩定性好;②靈敏度高 ,感濕特性曲線的線性度好; ③使用范圍寬,濕度溫度系數小;④響應時間短;⑤濕滯回差小;⑥能在有害氣體的惡劣環境中使用;⑦器件的一致性和互換性好,易于批量生產,成本低;⑧器件感濕特征量應在易測范圍以內。